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電子級(jí)超純臭氧氣體發(fā)生器

采用高濃度、超純凈、深度精細(xì)工藝的臭氧實(shí)現(xiàn)技術(shù)是該發(fā)生器實(shí)現(xiàn)的基礎(chǔ)。臭氧被電子工業(yè)用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長(zhǎng)、光刻膠去除和多種清潔應(yīng)用。
GTC發(fā)生器能夠產(chǎn)生高濃度、大量流量、高壓力的超潔凈臭氧，整體模塊化，結(jié)構(gòu)緊湊，簡(jiǎn)潔、可視化外觀。

  • 詢價(jià)
  • 問(wèn)專家

產(chǎn)品特點(diǎn)

臭氧濃度高

臭氧輸出壓力高

氣體流量高

采用超純臭氧發(fā)生技術(shù)

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    應(yīng)用技術(shù)專家長(zhǎng)效合作

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